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          CRF plasma 等离子清洗机

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          诚峰低温大气等离子清洗机气体放电等离子体及应用的探讨

          诚峰低温大气等离子清洗机气体放电等离子体及应用的探讨:
                 诚峰低温大气等离子清洗机等离子体特性与放电特性密切相关,而放电特性与激励电源、放电模式及产生的条件有关,产生低温大气等离子清洗机的等离子体的气体放电形式多种多样,依据所加的次数主要有:电弧放电、荣容性耦合射频放电、感性耦合射频放电、微波放电、标准大气压电弧放电、螺旋波等离子体等。

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                 获得等离子体的方式有很多种,依据所加的次数不一样,可以分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型。低温大气等离子清洗机制造前期,对低气压大气等离子体放电进行了普遍和进一步的探讨。低气压具有比较低的击穿电压,容易实现稳定放电,还可以在较大尺度内实现均匀放电且其活性粒子浓度较高。
                 空气中通常采用平板电极和圆柱电极两种结构。为实现标准大气压介质阻挡放电,需在两边金属电极之间的气隙空间至少插入1块绝缘介质(通常采用玻璃、石英、陶瓷等材质),且在两边电极施加交流电压源。随着外部电压的增大,介质阻挡放电的击穿类似于其它放电,在外电场作用下,电子加速并获得能量,通过与周围原子分子的碰撞发生能量转移,使原子分子的激发而产生电子雪崩。当放电气隙电压大于气体击穿电压时,气隙被击穿,放电发生。


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