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          CRF plasma 等离子清洗机

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          影响等离子清洗机放电的匹配器,诚峰智造为您分析

          等离子清洗机不放电或者放电不稳定,往往是等离子发生器的阻抗匹配出了状况。等离子发生器在进行能量传输时,假如反应腔体和电极(以下简称负载)阻抗和传输线的特征阻抗不相等,就会在传输时发生反射,有部分能量通过发热等方式损失掉了,而不是所有能量都被等离子清洗机的负载吸收,这样就会直接影响等离子表面处理的效果。

          在高频放电回路中,为了保证用于放电区的功率消耗?;ふ竦雌?,常规的做法就是在高频电源与等离子腔体、电极之间设置阻抗匹配网络,以便按不同放电条件进行调节,使高频发生器的输出阻抗与负载阻抗能够匹配,让等离子清洗机放电稳定,工作效率高。

          影响等离子清洗机匹配效果的几个主要因素

          等离子清洗机的匹配器,就好比是等离子发生器的伴侣,两者要相互匹配,不可用小功率的匹配器去适应大功率的等离子发生器,除此之外,要想等离子清洗机取得理想的匹配效果,还需注意以下几个方面。

          1.在设计等离子清洗机的反应腔体和电极的时候,要与匹配器供应商充分沟通相关技术参数,以满足等离子清洗机的匹配要求;

          2.等离子清洗机在安装匹配器的时候,应尽量靠近反应腔体和电极,缩短连线,减少功率损耗;

          3.气体流量、真空度、处理的产品材质和数量等因素都可能影响阻抗匹配,需根据实际情况做调整。

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